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關於吳砂輪
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【用途】 ・矽晶圓的平坦化 ・背面減薄研磨 ■BH7 此款砂輪因具有良好的自銳作用,即使是難以進行無修銳連續磨削的蝕刻面,也可以做到無修銳連續磨削。 因採用高性能的結合劑類別及砂輪設計,磨削阻力小,使用壽命長,能獲得高磨削比。 ■BH14 此款砂輪採用降低磨削阻力的填充劑及多氣孔結構,所以在極低的負荷下也可完成磨削作業。 研磨晶圓時,能將損傷減到最小,獲得良好的表面加工品質。 ■VDW 此款砂輪成功使細微的鑽石磨粒均勻分布,消除了陶瓷結合劑容易出現的刮傷問題。 因陶瓷結合劑的磨粒保持力強,可達成高精度的鏡面表面精磨。 另外,此款砂輪為多氣孔砂輪,能夠抑制磨削阻力上升。
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